半導(dǎo)體“陶瓷心”，泰興“智造”！
江蘇集萃半導(dǎo)體陶瓷材料研究所是泰興高新區(qū)引進(jìn)的新型研發(fā)平臺(tái)，由清華大學(xué)潘偉教授團(tuán)隊(duì)領(lǐng)銜組建。平臺(tái)僅用7.5畝土地，就構(gòu)建起從粉體研發(fā)到精密加工的全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)體系，為半導(dǎo)體裝備打造中國(guó)自主生產(chǎn)的精密陶瓷部件，裝上“中國(guó)心”。
在集萃半導(dǎo)體陶瓷材料研究所的陶瓷超精密加工室，技術(shù)人員正專(zhuān)注加工陶瓷靜電卡盤(pán)。該產(chǎn)品是半導(dǎo)體制造設(shè)備中的關(guān)鍵零部件，以往長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷。研究所不僅積極自主研發(fā)，還參與國(guó)家相關(guān)重大科技項(xiàng)目，目前已成功突破多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。
研究所總投資1.1億元，由省產(chǎn)研院、泰州市產(chǎn)研院、清華大學(xué)潘偉教授團(tuán)隊(duì)及泰興高新區(qū)共同投資建設(shè)，聚焦先進(jìn)陶瓷技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。核心團(tuán)隊(duì)依托清華大學(xué)新型陶瓷和精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，在“先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷材料研究”和“精密陶瓷部件制備技術(shù)”方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，已為國(guó)內(nèi)廠商實(shí)現(xiàn)部分精密先進(jìn)陶瓷部件的進(jìn)口替代。
未來(lái)，研究所將充分發(fā)揮技術(shù)研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化優(yōu)勢(shì)，持續(xù)引進(jìn)高層次人才，力爭(zhēng)每年申報(bào)發(fā)明專(zhuān)利5項(xiàng)以上，引進(jìn)和孵化科技項(xiàng)目不少于4項(xiàng)，致力于成為新型陶瓷領(lǐng)域技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)品開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的創(chuàng)新策源地，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。 |
